| 1 |
MBE- molecular beam epitaxy; |
| 2 |
МПЭ-Молекулярно Пучковая Эпитаксия; |
| 3 |
MOCVD- metalorganical chemical vapour deposition; |
| 4 |
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы; |
| 5 |
RIE- Reactive Ion Etching; |
| 6 |
РИПТ- Реактивное Ионно Плазменное Травление; |
| 7 |
PECVD- Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition; |
| 8 |
ПХО - плазма химическое осаждение; |
| 9 |
UHV- Ultra High Vacuum; |
| 10 |
RHEED- Reflection High Energy Electron Difraction; |
| 11 |
-Дифракция быстрых электронов на отражение; |
| 12 |
HEMT- High Electron Mobility Transistor; |
Комментарии